교수
Semiconductor People
정성웅
Sung-Woong Chung
소개 |
정성웅 교수는 반도체 산업에서 오랫동안 박막 공정 기술, DRAM 및 차세대 메모리에 대한 소자 연구를 해 왔습니다. 최근 원자층 증착 및 식각에 대한 표면 반응과 관련 소재 연구를 통한 메모리 반도체 스케일링을 지속하기 위한 방법을 모색하고 있으며, 특히 반도체 소자의 분포를 분석하고 제어하는 인자를 연구하고자 합니다. |
전문분야 | 내용 |
Scaling device technology for DRAM and 3D NAND (DRAM capacitor, transistors, novel process integration) |
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비고 |
소개
전공분야
비고