교수
Semiconductor People
이상설
Sangsul Lee
소개 | 이상설 교수 연구실에서는 반도체 초미세화 기술인 극자외선 노광 기술의 소재, 공정을 연구하고, 방사광가속기 기반 첨단 In-operando 측정을 통한 나노 스케일 분석 연구를 수행합니다. |
전공분야 | 내용 |
반도체 초미세화 극자외선 노광 기술 |
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고해상도 반도체 측정 분석 기술 |
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방사광 가속기 기반 반도체 소재 특성 분석 |
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비고 |
소개
전공분야
비고