연구분야

나노신소재

반도체 소자는 나노스케일링이 가속화되고 있어, 첨단 메모리와 로직 반도체의 초미세화 구현에 필요한 새로운 나노소재 기술 개발이 진행되고 있습니다. 나노크기 효과(100nm 보다 훨씬 작은 나노스케일에서 전기적 / 광학적 / 열적 / 화학적/ 물리적 고유 물성이 독특하게 변하는 현상)를 이용하여, 0차원, 1차원, 2차원, 3차원 형상의 나노소재가 다양하게 연구개발되고 있습니다. 이러한 나노 신소재는 𓅯로운 트랜지스터 소자를 만드는 전공정(FEOL)과 소자동작에 필요한 배선을 만드는 첨단 후공정(BEOL), 반도체소자를 보호하는 첨단전자패키징에 모두 활용됩니다.